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JSM-7500F型场发射扫描电子显微镜

作者:        发布于:2018-05-24
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型号:JSM-7500F

生产国别厂家:日本电子株式会社  

1. 电子光学系统

原理:场发射扫描电镜是利用聚焦电子束与样品表面作用产生的二次电子、背散射电子等物理信号得到表面形貌图像以及样品相关信息,该电镜适用于分析和观察样品表面和断面形貌及结构。

主要技术指标:

  二次电子像分辨率:1.0nm15kV),1.4nm1kV

  电子枪:冷场发射电子枪

  加速电压:0.1 30kV

  束流范围:1×10-132×10-9 A

  图像放大倍数:251000,000×, 放大倍率误差:小于10%

2. X射线能谱系统   

X射线能谱仪(EDS):作为附件配置在JSM-7500F 型场发射扫描电镜上使用

原理:用细聚焦电子束入射样品表面,激发出样品微区(微米级)元素的特征X射线,分析特征X射线的能量即可知道微区中所含元素的种类(定性分析), 分析X射线的强度,则可知道微区中对应元素含量的多少(半定量分析)。

型号:X-MaxN 

生产国别厂家: 英国牛津仪器公司 

主要技术指标:窗口面积:80mm2; 分辨率:优于127eV 稳定性:1,000cps~100,000cps时,谱峰漂移<1eV,分辨率变化<1eV48小时内谱峰漂移<1.5eVMn Kα

元素探测范围:探测元素Be4-U92

主要用途: X-MaxN型电制冷能谱仪无需添加液氮,具有方便快捷、分辨率高等特点。可对固体材料的表面和断面微区做元素点、线、面分布的定性和半定量分析。

 

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